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| 番号 | 名称 | 制定 改正 |
スタビライズド規格 (移行年月) |
旧規格備考 | 購入サイトへ |
|---|---|---|---|---|---|
| EDR-4712/600 | 併SiCウェーハの結晶欠陥の非破壊検査方法 (Part 6：光学検査手法とフォトルミネッセンス法と X線トポグラフ法による SiCエピタキシャル層欠陥クラス識別) | 2026.04 |
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| EDR-4712/600 | 併SiCウェーハの結晶欠陥の非破壊検査方法 (Part 6：光学検査手法とフォトルミネッセンス法と X線トポグラフ法による SiCエピタキシャル層欠陥クラス識別) | 2026.04 |
