JEITA規格
JEITA STANDARD

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番号 名称 制定
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スタビライズド規格
(移行年月)
旧規格備考 価格
EDR-4712/200 SiCウェーハの結晶欠陥の非破壊検査方法(Part 2:光学検査手法によるSiCエピタキシャル層欠陥の検査方法) 2017.02      ¥5,280